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Messprinzip
Als Lichtquelle wird eine LED-Matrix verwendet [Weißlicht (VIS) oder Infrarotlicht (IR bei 860 nm)]. Je nach Beschaffenheit und Dicke der Schicht wird eine diffuse Lichtquelle (SI-SLU-16-DIF bzw. SI-SLU-16-DIF-IR) oder aber eine Lichtquelle mit geringer numerischer Apertur (nahezu parallel gerichtetes Licht) eingesetzt (SI-SLU-16 bzw. SI-SLU-16-IR).

Als Detektor dient ein sogenannter True-Color-Farbdetektor mit geringer numerischer Apertur (kleine Eingangsöffnung) vom Typ SPECTRO-3-SLU-SA oder aber ein Kontrastsensor für den sichtbaren Lichtanteil SPECTRO-1-SLU-SA bzw. für den IR-Anteil SPECTRO-1-SLU-SA-IR.

Gemessen wird mittels Durchlichtverfahren, d.h. Sender und Empfänger sind auf der jeweils gegenüberliegenden Seite der zu untersuchenden Schicht angeordnet

 

Nachdem das Licht senderseitig auf die diffuse Schicht auftrifft (I₀), wird es von dieser in den gesamten Raum diffus gestreut, ein kleiner Ausschnitt davon gelangt nun in Richtung Empfänger (I_(d)).
 

Dabei gilt folgender Zusammenhang

 

 
 

 

Damit ergibt sich für eine Schichtdickenänderung folgendes:

 

 

 

Ein Abgleich des Sensorsystems auf die tatsächliche Schichtdicke kann vorgenommen werden, falls die Dicke von zwei Proben bekannt ist: d₁, d₂

→ Damit kann dann I_(d1) und I_(d2) gemessen werden.

→ Ermitteln der Konstante ε·c:
 

 

Des Weiteren kann die Konstante K·I₀ mit Hilfe von ε·c und I_(d1) bestimmt werden (es wird davon ausgegangen, dass sich während der Messung I₀ nicht ändert).
 

Messaufbau
Die Schichtdicke wird vom Messsystem (je nach Typ) ab Analogwert (Spannung bzw. Strom) oder aber über die serielle Schnittstelle ausgegeben.