Sensor Instruments
Entwicklungs- und Vertriebs GmbH
Schlinding 11
D-94169 Thurmansbang
Telefon +49 8544 9719-0
Telefax +49 8544 9719-13
info@sensorinstruments.de

Diese Seite übersetzen:

Was ist Schichtdickenmessung?


Schichtdickenmessung mittels Transmission
Unter der Annahme, dass eine diffuse dünne Schicht (im μm-Bereich liegend) auf eine optisch transparente Folie (z.B. 100 μm dick) aufgetragen wird, kann die Dicke der diffusen Schicht mittels optischer Transmission hochgenau ermittelt werden.

Schichtaufbau:

 
Messprinzip
Als Lichtquelle wird eine LED-Matrix verwendet [Weißlicht (VIS) oder Infrarotlicht (IR bei 860 nm)]. Je nach Beschaffenheit und Dicke der Schicht wird eine diffuse Lichtquelle (SI-SLU-16-DIF bzw. SI-SLU-16-DIF-IR) oder aber eine Lichtquelle mit geringer numerischer Apertur (nahezu parallel gerichtetes Licht) eingesetzt (SI-SLU-16 bzw. SI-SLU-16-IR).

Als Detektor dient ein sogenannter True-Color-Farbdetektor mit geringer numerischer Apertur (kleine Eingangsöffnung) vom Typ SPECTRO-3-SLU-SA oder aber ein Kontrastsensor für den sichtbaren Lichtanteil SPECTRO-1-SLU-SA bzw. für den IR-Anteil SPECTRO-1-SLU-SA-IR.

Gemessen wird mittels Durchlichtverfahren, d.h. Sender und Empfänger sind auf der jeweils gegenüberliegenden Seite der zu untersuchenden Schicht angeordnet


 
Nachdem das Licht senderseitig auf die diffuse Schicht auftrifft (I0), wird es von dieser in den gesamten Raum diffus gestreut, ein kleiner Ausschnitt davon gelangt nun in Richtung Empfänger (I(d)).
 
Dabei gilt folgender Zusammenhang
 
                                     

 
 
 

 
Damit ergibt sich für eine Schichtdickenänderung folgendes:

 

 
 

Ein Abgleich des Sensorsystems auf die tatsächliche Schichtdicke kann vorgenommen werden, falls die Dicke von zwei Proben bekannt ist: d1, d2

Damit kann dann I(d1) und I(d2) gemessen werden.
Ermitteln der Konstante ε·c:
 
 
Des Weiteren kann die Konstante K·I0 mit Hilfe von ε·c und I(d1) bestimmt werden (es wird davon ausgegangen, dass sich während der Messung I0 nicht ändert).
 

Mit
kann dann die absolute Schichtdicke ermittelt werden.
   

Messaufbau
Die Schichtdicke wird vom Messsystem (je nach Typ) ab Analogwert (Spannung bzw. Strom) oder aber über die serielle Schnittstelle ausgegeben.
 


AKTUELLES

Messeteilnahmen: 

FOOD TECHNOLOGY
1.-2. Dezember 2021
Brabanthallen - 's-Hertogenbosch (Niederlande)

MECSPE 2021
23.-25. November 2021
BolognaFiere (Italien)

all about automation Friedrichshafen 2022
8.-9. März 2022
Messe Friedrichshafen

mehr...



Was ist ...
... Oberflächenspannung?
... Ölverdunstung?
... Ölschichtdickenmessung?

mehr...



Neue Applikationen:

Dickenmessung von Kunststoff-Folien
(N° 789)
Glanzmessung von Kunststoffbodenbelägen
(N° 790)


Präsenzkontrolle von Fläschchen in Arzneimittelverpackungen
(N° 791)

mehr...



Neue Pressemitteilungen:

Inline-Sprühstrahlkontrolle außerhalb sowie innerhalb des Ex-Bereiches
(SI-JET Serie, SPECTRO-2 Serie, SPECTRO-1 Serie, L-LAS-TB-AL-SC Serie)
Inline-Glanzmessung von lackierten Holzpaneelen
(GLOSS Serie)

mehr ...



Neue Videos:

Danke für die Optoelektronik!
Bewirb Dich jetzt!

mehr ...



Software-Neuheiten:

SPECTRO2-Scope V1.8 (2021.07.07)
Änderungen nach Software-Update von
V1.7 auf V1.8
(N° 30)

mehr...



Messetermine:

all about automation 2022
8.-9. März 2022
Messe Friedrichshafen

mehr...





FIND US ON ....

Facebook Twitter Instagram Youtube in

 








TOP