Sensor Instruments
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Cosa tratta la misura di spessore di uno strato?


La misura di spessore di uno strato con mezzi di trasmissione
Supponendo che un diffuso strato sottile (nel range di um) è applicato da un film otticamente sottile (ad esempio 100um di spessore), lo spessore dello strato diffuso può essere determinato con alta precisione dal trasmettitore ottico.
 
Composizione dello strato:

Misura principale:
Una matrice a LED è utilizzata come sorgente di luce [luce Bianca (VIS) o luce infrarossa (IR con 860nm)].
 
Dipende dalla composizione e spessore di uno strato a sorgente di luce diffusa (SI-SLU-16-DIF or SI-SLU-16-DIF-IR) oppure è utilizzata una sorgente luminosa con piccola apertura numerica (SI-SLU-16 or SI-SLU-16-IR) (direzione di luce quasi parallele).
 
I cosiddetti rilevatori di colore di vero colore con piccola apertura numerica, o SPECTRO-3-SLU-SA o sensori di contrasto per component di luce visibile (SPECTRO-1-SLU-SA) o componenti IR (SPECTRO-1-SLU-SA-IR) sono utilizzati come rilevatori.
 
La misura è eseguita in tutti I casi dal metodo di fasci di attraversamento, cioè trasmettitori e ricevitori organizzati sui lati opposti dei lati che devono essere rilevati.
Quando al lato trasmettitore la luce incide nello strato di diffusione (I0) ed è diffusa nell’intero strato, ma solo una piccola parte di luce arriva al ricevitore (I(d)).

La relazione è qui di seguito:
       


Quando lo spessore dello strato cambia il risultato è riportato di seguito:


Il sistema del sensore può essere rettificato all’attuale spessore dello strato se lo spessore è conosciuto: d1, d2
èI(d1)  e I(d2) possono essere misurate.
èDeterminare la costante ε·c :

 
Ulteriormente , le costanti K·I0 possono essere determinate con l’aiuto di ε·c e I(d1) (supponendo che I0 non varia durante la misura).

L’assoluto spessore dello strato può essere determinato con:

Impostazioni di misura
Lo spessore dello strato è l’uscita del Sistema di misura (dipendente dal modello) come valore analogico (tensione o corrente) oppure attraverso interfaccia seriale.



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