Перевести эту страницу:
Что значит измерение толщины слоя?
Измерение толщины слоя путем пропускания света
Допустим, что диффузный тонкий слой (в мкм-диапазоне) наносится на оптически прозрачную пленку (напр., толщиной в 100 мкм), при пропускании света можно очень точно определить толщину диффузного слоя.
Строение слоя:
Принцип измерения
В качестве источника света используется светодиодная матрица [белый свет (VIS) или инфракрасные лучи (ИК при 860 нм)]. В зависимости от структуры и толщины слоя используется источник рассеянного света (SI-SLU-16-DIF, а также SI-SLU-16-DIF-IR) или источник света с небольшой числовой апертурой (почти параллельно направленный свет) (SI-SLU-16, а также SI-SLU-16-IR).
В качестве детектора служит так называемый True-Color-детектор с небольшой числовой апертурой (маленькое входное отверстие) типа SPECTRO-3-SLU-SA или датчик контраста для видимой части света SPECTRO-1-SLU-SA, а также для ИК-излучения SPECTRO-1-SLU-SA-IR.
Измерения проводятся в режиме проходящего света, т.е. датчик и приемник размещены на противоположных сторонах исследуемого слоя
После того, как свет от излучателя попадет на диффузный слой (I0), он диффузно рассеивается в пространстве, одна небольшая его часть направляется в сторону приемника (I(d)).
 |
 |
Если толщина слоя изменяется, то получается:
 |
 |
Может настроить сенсорную систему на действительную толщину слоя, если известна толщина двух проб: d1, d2
→ можно измерить затем I(d1) и I(d2).
Затем можно определить константу K·I0, используя ε·c и I(d1) (исходят из того, что I0 во время измерения не изменяется)..
.jpg){kind=small}
| С |
.jpg) |
можно затем определить абсолютную толщину слоя. |
Система измерения
Толщина слоя выдается измерительной системой (в зависимости от типа) в виде аналогового значения (напряжение или ток) или через последовательный интерфейс.
